K9和石英玻璃基片上Au膜真空紫外反射特性研究

摘要：

采用离子束溅射法,分别在经过不同前期清洗方法处理过的K9及石英玻璃光学基片上,选择不同的镀膜参量,镀制了多种厚度的Au膜.对镀制的Au膜在真空紫外波段较宽波长范围内的反射率进行了连续测量.测试结果表明:辅助离子源的使用方式、Au膜厚度对反射镜的反射率有重大影响.基片材料、镀前基片表面清洗工艺等对反射率也有一定影响.采用镀前离子轰击,可显著提高Au膜反射率及膜与基底的粘合力;获得最高反射率时的最佳膜厚与基片材料、镀膜工艺密切相关.对经过离子清洗的石英基片,膜厚在30 nm左右反射率最高;比较而言,石英基片可获得更高的反射率;辅助离子源的使用还显著影响获得最高反射率时对应的最佳膜厚值,且对K9基片的影响更显著.

关键词：薄膜光学、真空紫外反射镜、离子束溅射、真空紫外反射膜、Au膜、K9玻璃基片、石英玻璃基片

所属期刊栏目：27

分类号：TB133(工程基础科学)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1529-1535