三倍频分光膜在1064 nm的破斑特性研究

摘要：

采用电子束蒸发方式制备了两种不同材料组合的分光膜,分别对其在波长1064 nm激光辐照下的损伤阈值进行了测试,用Alpha-Step 500台阶仪对破斑进行了深度测量.实验结果表明,破斑呈现出表面层的剥落和深坑破坏两种形态.表面层的剥落深度在一定范围内不随能量密度的变化而变化;深坑破坏深浅不一,是膜内缺陷融化、汽化及喷发的综合作用的结果,是损伤阈值降低的主要原因.

关键词：薄膜光学、激光损伤阈值、破斑深度、缺陷

所属期刊栏目：27

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1129-1134