基于垂直层叠结构的可见/近红外双波段传感器研究

摘要：

提出了基于垂直层叠结构的双波段传感器,该结构为同时对可见波段和近红外波段进行成像提供了可能.它的基本原理是利用不同波长的光在硅材料中穿透深度的非线性分布,即:短波长的可见光主要在表面被吸收,长波长的近红外光则主要在更深的位置被吸收.通过垂直层叠结构,抽取不同深度的光生载流子,即可以得到相应波段的成像信息.数值仿真分析表明,结构参量为D1=2 μm,D2=18 μm的结构能在400～1200 nm波长范围得到响应峰值波长为550 nm和1000 nm的最佳可见/近红外响应.

关键词：成像系统、多光谱、可见/近红外、成像传感器、垂直层叠结构

所属期刊栏目：27

分类号：TN36(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60577047

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1018-1022