KBA显微镜成像系统的成像模拟及X光成像实验的研究

摘要：

KBA显微镜是一种非轴对称、非共轴的掠入射成像系统.其结构复杂,调节精度要求很高,在实际成像实验操作中难以掌握其成像特性.利用光学设计软件模拟其成像,对系统的调节和成像分析提供有益的参考.利用光学设计软件ZEMAX模拟了KBA显微镜对点源的成像过程,给出了KBA显微镜成像系统的焦深约为1 mm,景深为50 mm左右.并且由模拟可知,掠入射角对成像的影响很大.对像素尺寸约10μm的探测设备,模拟得出KBA成像系统的空间分辨力上限为3 μm左右.基于星光Ⅱ装置对周期为20 μm的网格靶成像,获得了KBA显微镜较为清晰的X光图像.该项工作为进一步开展掠入射成像系统的研究奠定了基础.

关键词：仪器、KBA显微镜、掠入射、光学设计、ZEMAX

所属期刊栏目：26

分类号：TH742.63(仪器、仪表)

资助基金：国家科技攻关项目2003AA843080

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1231-1235