自适应压电式移相器的研究

摘要：

移相器是移相干涉仪中的重要部件,压电式移相器由于分辨力高、响应快、控制容易而被大量采用.但压电陶瓷的非线性误差与位移量小,一直影响其应用范围的扩大.针对该问题,从压电式移相器机构与扩展方法入手,设计了具有放大特性的柔性铰链式移相器.采用单神经元(Proportional sum derivative,PSD)控制算法,实现微驱动定位的自适应实时控制,改善了非线性,降低了环境干扰的影响,提高了压电式移相器的性能.所设计的压电式移相器用3组压电陶瓷堆驱动,可用于φ100 mm孔径镜片,位移行程达30μm以上.实验验证该方法有效,控制精度达0.01 μm.

关键词：光学测量、压电陶瓷、移相器、自适应控制、柔性铰链

所属期刊栏目：26

分类号：TH741.3+3(仪器、仪表)

资助基金：国防科工委预研项目J182001C002

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1027-1031