用锌有机源和CO2/H2混合气源PECVD沉积ZnO薄膜

摘要：

在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜.X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到晶粒是有规律地按六方排布,薄膜的表面粗糙度较小;从光致发光谱还发现在380 nm处有非常强的紫外峰.

关键词：薄膜光学、ZnO、等离子体增强化学气相沉积

所属期刊栏目：26

分类号：O482.31(固体物理学)

资助基金：江西省自然科学基金0120024;江西省材料科学与工程中心资助项目;江西省教育厅科研项目赣教技字[2005]160号

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：639-640