振动式微机械陀螺动态特性光学测试

摘要：

针对振动式微机械陀螺的设计过程中对微振子动态特性的精确评价问题,提出一种测量微振子动态特性的光学方法.该方法利用高速摄像机获取陀螺微振子在振动时的时间序列图像,然后采用数字图像相关技术对序列图像进行相关计算,以获得微振子在大气中振动的位移、速度和加速度曲线,并由此计算微振子的固有频率和品质因数.该方法对位移的分辨力在亚微米量级,具有较高的测量精度.对文中被测陀螺驱动模态的固有频率测量结果为2061.67 Hz,大气压下的品质因数测量结果为66.67.提出的方法可为微陀螺动态特性的测量提供一种精确、有效的途径.

关键词：光学测量、微机械陀螺、固有频率、品质因数、数字相关、时间序列图像

所属期刊栏目：26

分类号：TH113.1;TH824+.3

资助基金：中国科学院资助项目10472026;10572060

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：202-206