大工作面F-Theta镜头的光学设计

摘要：

目前国内用于激光标刻机的F-Theta镜头的工作面积一般不超过φ420 mm.国外虽有面积较大的F-Theta镜头,但结构复杂.通过初级像差分析,确定了镜头的初始结构参量,利用光学设计软件优化得到了工作面积为φ680 mm的F-Theta镜头,它由四片两种普通玻璃球面透镜构成,光学筒长不到100 mm,具有结构简单紧凑,聚焦性能接近衍射极限、线性畸变小的优点,满足大工作面打标的使用要求.

关键词：光学设计、F-Theta镜头、初级像差理论、激光打标

所属期刊栏目：25

分类号：O439(光学)

资助基金：江苏省重点实验室基金KJS01004

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1539-1542