一维位置敏感探测器位置准确度和线性度的改进

摘要：

在常规的条状一维位置敏感探测器(PSD)中,光敏区和位置电阻区是结合在一起的,器件的欧姆接触电极难以做得比较理想,因此器件的位置准确度和线性度也受到了不利的影响.而在梳状一维位置敏感探测器中,光敏区和位置电阻区被分成了梳齿区和梳脊区两部分,并且位置电阻区被设计成很窄的长条,即使掺杂浓度比较高,位置电阻也能做得相当大.这样条状一维位置敏感探测器接触电极上的缺陷就可消除.用两种不同的一维位置敏感探测器所测量的位置特性曲线证实了理论分析的正确性.测量结果还表明,梳状一维位置敏感探测器的位置准确度和线性度比条状一维位置敏感探测器有了显著的提高,梳状一维位置敏感探测器的平均位置误差从条状一维位置敏感探测器的55 μm减小到了26μm,梳状一维位置敏感探测器的均方根非线性度从条状一维位置敏感探测器的0.94%减小到了0.09%.

关键词：探测器、位置敏感探测器、横向光电效应、梳状一维位置敏感探测器、条状一维位置敏感探测器

所属期刊栏目：25

分类号：TN364+.1(半导体技术)

资助基金：浙江省科技计划001101420

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1501-1505