投影光学系统中的偏振像差分析

摘要：

当光束斜入射时,光学薄膜存在一定的偏振效应.在飞利浦棱镜系统中,当一定大小孔径角的照明光束斜入射到分色合色薄膜后,S偏振分量和P偏振分量存在一定的相位差,使得线偏振光变成椭圆偏振光.利用琼斯矩阵偏振光线追迹的方法,分析了投影光学系统中由于两偏振分量相位差引起的偏振像差,以及它与暗态泄漏光强和系统衬比度的关系.得出了系统出瞳面上的光波偏振特性,以及在不同大小孔径角的照明光束入射下偏振像差的变化.分析了膜厚监控误差对光学系统偏振像差的影响,发现膜厚监控误差对偏振像差和系统衬比度有很大的影响.所使用的分析方法可以应用于其他大口径光学系统.

关键词：薄膜光学、偏振像差、琼斯矩阵、投影显示、膜厚监控误差

所属期刊栏目：25

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：696-700