枕型二维位置敏感探测器的研制

摘要：

证明了枕型二维位置敏感探测器设计的基本原理--Gear定理,并推导了适用于枕型二维位置敏感探测器的位置计算公式,此外还提出了枕型二维位置敏感探测器的制作工艺和测试结果.采用集成电路工艺所研制的枕型二维位置敏感探测器(光敏面为8 mm×8 mm)表现出良好的光电特性,当反偏为5 V时其暗电流约为15 nA,峰值时的光谱灵敏度超过了0.6 A/W.在所测量的75%光敏区域内,均方根位置误差约为0.135 mm,而以均方根位置误差表示的非线性度在1.1%左右,比四边形二维位置敏感探测器的位置线性度提高了近一个数量级.

关键词：光学器件、位置敏感探测器、横向光电效应、枕型二维位置敏感探测器

所属期刊栏目：25

分类号：TN364+.1(半导体技术)

资助基金：浙江省科技计划001101420

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：233-236