基于法布里-珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作

摘要：

提出了一种新颖的基于硅基法布里-珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像,其焦平面阵列(FPA)是一个基于微机电系统(MEMS)制作的法布里-珀罗微腔阵列.阐明了器件的工作原理;完成了可动微镜结构、热-机械、可见光读出部分设计.理论分析表明,对Al/SiO2双材料体系而言,SiO2厚度应大于0.3μm,其最佳厚度比为0.598,相应的最大热-机械灵敏度可达10-8m/K.采用体硅微机电系统技术,实验制作出了50×50焦平面阵列.

关键词：光读出热成像、法布里-珀罗微腔、微机电系统、热-机械灵敏度

所属期刊栏目：24

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033101

在线出版日期：2004-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1375-1380