一种控制矩形光刻胶光栅槽深和占宽比的方法

摘要：

利用光刻胶的非线性效应可以制作出了矩形的全息光栅.制作矩形光栅时,对槽形的控制被简化为对槽深和占宽比这两个参量的控制.首先借助实时潜像监测技术获得最佳曝光量,然后根据显影监测曲线的特征找出光栅槽底的残胶厚度为零的显影时刻,就能得到槽底干净的矩形光栅,同时保证槽深近似等于光刻胶的初始厚度;如果此后继续显影,就能适度减小占宽比.实验结果和理论分析都证实了这种控制方法的可靠性.对1200 lp/mm的光栅,目前工艺能精确调控的最大槽深为1μm,占宽比在0.2～0.6范围内.实验还揭示,为了提高对光栅槽形的调控能力,必须首先提高干涉条纹的稳定性.

关键词：物理光学、矩形光刻胶光栅、槽深、占宽比、实时监测技术、全息光栅、掩模

所属期刊栏目：24

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1285-1291