氮化铝薄膜中的二次谐波产生

摘要：

利用X射线衍射技术对用直流反应磁控溅射技术沉积在蓝宝石基底(100)晶面上的氮化铝(AlN)薄膜进行了晶体结构分析,对X射线衍射图样的分析结果表明:用该法沉积在蓝宝石基底(100)晶面上的AlN薄膜为单晶膜;利用脉宽为10 ns、重复频率10 Hz、最大平均功率为20 W、单脉冲的最大能量为2 J的Nd:YAG脉冲激光器对其进行了二次谐波产生的实验研究,对实验结果进行分析表明:沉积在蓝宝石基底(100)晶面上的AlN薄膜能在一个很宽的入射角度范围存在有效二次谐波的输出;且输出的二次谐波功率相对于AlN薄膜的表面法线成对称分布,这表明该AlN薄膜的表面法线方向即为AlN的光轴方向.

关键词：非线性光学、AlN薄膜、二次谐波、相位匹配、相位失配角宽度

所属期刊栏目：24

分类号：O437(光学)

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1245-1248