90°反射式相位延迟器的设计

摘要：

铜蒸气激光反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.通过优化设计,在490～530nm之间p、s波获得了90°的相移,同时也使反射率在99.998%以上.Ag层的厚度对于相移不敏感,并且当其厚度大于一定值的时候,对反射率没有影响.根据误差分析,制备薄膜时其沉积速率精度控制在士1%以下,在光谱范围内能达到±15.28°的相移误差,相移均在504 nm处附近存在有一个收敛值.折射率的变化控制在±1%以下,在光谱范围内能达到±12.77°的相移误差.最外一层厚度变化士1%,其相移变化达到±5.5°,2～5层和9～16层对相移的影响也在0.5°之上,其余各层对相移影响非常的小.使用时的入射角控制在士1°时,在光谱范围内能达到±2.86°的相移误差.在530 nm附近的波段对入射角不敏感.

关键词：薄膜光学、相移、90°、反射式、容差分析

所属期刊栏目：24

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1169-1172