亚波长消反射光栅

摘要：

为了降低消反射光栅的偏振敏感性,将等效介质理论推广到二维亚波长结构,对一种特定的矩形柱状结构进行了分析.构造了一种分析方法,然后利用光栅结构的有关表达式得到这种二维结构的近似等效系数.并设计了适用于10.6 μm红外波段的二维亚波长消反射光栅,用二元光学的制作工艺在Si衬底上进行了实验制备.测试结果表明:对中心波长为10.6 μm的红外光,这种光栅象单层消反射膜一样,具有很好的增透效果.

关键词：物理光学、二元光学、等效介质理论、二维光栅、亚波长结构

所属期刊栏目：23

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金60177011

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1359-1361