以非晶碳作硅基红外增透膜的实验研究

摘要：

在室温下,用激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅衬底表面沉积了不同厚度的非晶碳膜.对膜进行了表面形貌观察,测试并分析了膜的拉曼散射光谱和傅里叶变换红外光谱.发现膜含微晶石墨杂质较少,观察到1200 cm-1附近的非晶金刚石拉曼峰,膜层在红外的光透过率高,在硅衬底上适宜于制作波长短于8μm的红外增透膜.

关键词：激光烧蚀、非晶碳膜、红外增透

所属期刊栏目：22

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：湖南省教育厅科研项目98B004

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1296-1299