10.3321/j.issn:0253-2239.2002.10.022
连续波CO2激光辅助AuGeNi-InP合金
利用激光辅助合金的方法,生成InP表面AuGeNi-InP合金,并形成良好的欧姆接触,上下表面面间电阻为5.8 Ω.研究了合金工艺参量(如合金时间、合金温度、镀膜厚度等)对形成欧姆接触性能的影响.
激光辅助合金、欧姆接触、半导体化合物
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TN249(光电子技术、激光技术)
总装备部预研项目
2008-08-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
1263-1265