用非接触光探针平整度仪对液晶器件的研究

摘要：

介绍一种具有纳米级测量灵敏度的非接触光探针平整度测试仪,其分辨率优于1 nm.这种测试仪在电子玻璃、半导体、集成电路、薄膜和纳米技术等领域都有很大的应用前景.给出了该测试仪在液晶显示器件基板表面形状研究方面的一些应用的实验测试数据结果,表明该测试仪可以在液晶显示器件研究中发挥作用.

关键词：非接触、光探针、平整度、液晶显示器

所属期刊栏目：22

分类号：TN247∶TN873(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：863-866