光学器件面形误差对光束质量的影响

摘要：

定量分析了了光学面形误差各参数(幅度、类型、空间尺度和空间分布等)对光束质量的影响.通过数值计算得到:对于局部缺陷和环形缺陷,在规定误差均方根值时,应对缺陷空间尺度作出相应规定,以避开光束质量因子β的极大值.中心缺陷比边缘缺陷对光束质量的破坏更大;相位误差的低频部分形成了远场能量分布的中心核,而边翼由高频部分所形成,对高频误差需要规定更严格的容差.

关键词：光束质量、面形误差、策尼克像差

所属期刊栏目：22

分类号：TN206(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-410-1

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：495-500