哈特曼-夏克传感器在非球面加工中的应用

摘要：

论述了哈特曼夏克传感器的测量原理,对它的测量精度进行了标定.同时还介绍了哈特曼夏克传感器在光学车间实际测量大口径非球面系统的情况,表明哈特曼夏克传感器是一种非常有效的光学车间检测手段.

关键词：哈特曼夏克传感器、微透镜阵列、非球面

所属期刊栏目：22

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：491-494