用于曲面精密检测的新型光纤三角传感器研究

摘要：

基于光纤传感技术和三角测量方法,提出了一种用于曲面检测的新型光纤三角传感器.根据所设计的轮辐式接收光纤结构,可以在测量曲面与传感头间位移时,首先获取被测点处微面元的倾斜信息,以便对传感器测量值进行实时误差修正,从而解决了被测表面倾斜对坐标测量带来的影响.该传感器还能有效地消除环境光干扰、光源波动、表面反射率变化等对测量带来的影响.建立了传感器测量的数学模型.理论分析和初步的实验结果证明了系统的有效性和实用性.该传感器系统不稳定性好于0.3%,横向分辨率好于8 μm,高度分辨率好于0.1 μm.

关键词：光纤传感器、三角测量法、曲面测量、精密工程

所属期刊栏目：22

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防基金98J18.3.3HT0129

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：476-480