外加电场极化法制备LiNbO3周期性畴反转的工艺研究

摘要：

对用外加电场极化法实现铁电畴周期性极化反转LiNbO3晶体(PPLN)的工艺进行了研究，首先采用光刻工艺技术在Z切厚度为0.5 mm的LiNbO3晶体的正畴面和负畴面上刻蚀出与掩膜板完全对应的金属Al电极，然后在两电极上施加一系列的脉冲电压；在实验研究中，通过控制脉冲幅度、脉冲宽度、脉冲个数和脉冲电流，确定了最佳实验参量，并成功地制备出了周期为9.5 μm的三阶准相位匹配铁电畴周期性极化反转LiNbO3晶体。

关键词：LiNbO3晶体、周期性极化反转LiNbO3晶体(PPLN)、准相位匹配

所属期刊栏目：21

分类号：O731(晶体物理)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：618-620