半导体激光微小振动实时干涉测量仪

摘要：

设计了一种半导体激光干涉测量仪，可以实时测量物体的微小振动。通过信号处理电路对干涉信号进行分析，得到实际振动的振幅和频率。给出了具体的理论分析。实验结果验证了该干涉仪的实用性。

关键词：实时测量、光学检测、干涉仪、半导体激光器

所属期刊栏目：21

分类号：TH744.5(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金69978024;上海市应用材料研究与发展基金

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：578-580