一种准确聚焦掠入射球面光栅单色仪的光学设计

摘要：

提出了一种用于低碎屑激光等离子体软X射线光谱测试的球面光栅单色仪的光学设计方案。其设计思想是通过改变衍射光栅的偏向角使入射狭缝在所要求的波段范围内都能准确聚焦在出缝处。分析了系统的重要参数对单色仪技术指标的影响，优化了设计方案，使系统在13 nm处的分辨率λ/△λ≥2000(狭缝开启50μm)。

关键词：掠入射、球面光栅、单色仪、光学设计

所属期刊栏目：21

分类号：TH744.1(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：574-577