新型低损耗氧化硅Y分支光波导

摘要：

提出了一种新型的Y分支光波导结构。该Y分支波导由一个入射波导、一个过渡波导和一对出射波导组成。过渡波导用于改善入射基模与出射偶对称模之间的场分布匹配，有效地提高了功率耦合效率，降低了分支耦合损耗。波束传播法(BPM)数字模拟计算表明，该结构在1.31 μm和1.55 μm波长下可分别达到0.041 dB和0.052 dB分支耦合损耗。实验中用等离子化学汽相沉积(CVD)技术制备了SiO2分支波导样品，在上述两波长下分别测得分支耦合损耗为0.08 dB和0.09 dB，基本达到了设计指标。

关键词：光波导、Y分支光波导、场分布匹配、分支耦合损耗、SiO2光波导、化学汽相沉积(CVD)技术

所属期刊栏目：21

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：552-555