由三个压电陶瓷堆组成的干涉仪移相器的校正与标定

摘要：

根据傅里叶变换原理，提出了一种对由三个压电陶瓷堆(PZT)组成的干涉仪移相器进行非线性及平行性校正与标定的方法。在对各个压电陶瓷堆进行非线性校正的基础上，利用干涉图像自动分析系统，综合分析各个压电陶瓷堆之间的牵制作用，从而得到对整体干涉仪移相器平行性校正的补偿依据。组建了一套卧式数字平面干涉仪，在干涉仪移相器承重6 kg的情况下进行实验，非线性误差由12%校正至0.3%。由于干涉仪相移器承重而引起的移相过程中的条纹旋转降至2°，条纹间距变化小于2%。

关键词：干涉仪移相器、压电陶瓷堆、校正

所属期刊栏目：21

分类号：TH741.1+3(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：468-471