分光路二维剪切干涉强激光腔镜变形检测系统

摘要：

介绍一种分光路二维剪切干涉光电检测系统。该系统实现了两正交方向(二维)同时进行检测与计算机自动化数据处理；采用了一系列消噪声措施和两图像相减等技术，使得波前重构中能较好地采用简单的数值积分方法；并得到了在士10μm的测量范围内，方差不超过0．257μm和0．05μm的灵敏度。利用该系统成功地对强激光腔镜变形过程实现了动态检测。

关键词：二维剪切(错位)、干涉、强激光、腔镜变形检测

所属期刊栏目：20

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1667-1674