一种近似计算金属多层膜界面过渡层厚度的方法
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10.3321/j.issn:0253-2239.2000.09.010

一种近似计算金属多层膜界面过渡层厚度的方法

引用
在用小角射线衍射研究离子束溅射法制备的多层膜基本结构时,提出了一个可以计算界面过渡层厚度公式.由实验曲线和文中提出公式得到过渡层厚度,并与用实验曲线和理论曲线进行拟合所得值进行了对比,结果表明这两种方法得到的过渡层厚度基本一致.

多层膜、小角衍射、过渡层厚度

20

O4(物理学)

新材料领域项目

2008-08-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

1208-1212

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0253-2239

31-1252/O4

20

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