一种近似计算金属多层膜界面过渡层厚度的方法

摘要：

在用小角射线衍射研究离子束溅射法制备的多层膜基本结构时,提出了一个可以计算界面过渡层厚度公式.由实验曲线和文中提出公式得到过渡层厚度,并与用实验曲线和理论曲线进行拟合所得值进行了对比,结果表明这两种方法得到的过渡层厚度基本一致.

关键词：多层膜、小角衍射、过渡层厚度

所属期刊栏目：20

分类号：O4(物理学)

资助基金：新材料领域项目

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1208-1212