灰阶掩模实现光学邻近校正及计算模拟研究

摘要：

从光学邻近效应产生机理出发, 提出用带灰阶衬线的灰阶掩模实现光学邻近效应精细校正的新方法, 并指出掩模图形振幅信息的优化, 即合理分布掩模图形的空间频谱, 可以改善空间像的光强分布并获得高质量的光刻图样. 计算表明, 校正后的成像图样与理想像的偏差小于0.9%.

关键词：光学邻近效应校正、灰阶掩模、灰阶衬线

所属期刊栏目：19

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研项目;国家重点实验室基金

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：698-702