基于MCGS和MATLAB的薄膜厚度控制系统仿真

摘要：

以MCGS组态软件和MATLAB为平台,设计和仿真了一个薄膜厚度控制系统.MCGS完成硬件接口的设置、数据的实时采集、人机对话、以动画的方式显示控制系统的运行情况,MATLAB完成PID参数的自动整定,并利用动态数据交换(DDE)技术建立两者间的通讯.仿真结果表明,本控制系统超调量小、响应速度快、自适应能力强,而且操作方便、显示直观,具有较大的应用价值.

关键词：薄膜厚度控制、MCGS、MATLAB、BP神经网络、DDE协议

所属期刊栏目：28

分类号：TP273.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目10947011;广西教育厅科研项目200608MS133;广西高校重点建设实验室项目200912

在线出版日期：2010-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-21