高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探

摘要：

用组合成的可溶性聚硅烷1710A作涂膜材料,进行不同温度 的真空热解或高纯氮下热解实验.通过IR谱和XPS谱分析,在790～810 cm-1和 1 270 cm-1红外吸收特征峰分别对应Si-CH3摇摆振动和伸缩振动 吸收峰,XP-Si谱给出Si(2P)结合能为101.6 eV,CIS为284.3 eV, 证明有α-SiC∶H生成.

关键词：碳化硅、聚硅烷、热解

所属期刊栏目：18

分类号：O793(晶体物理化学过程)

资助基金：中国科学院资助项目29171024

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23