用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究

摘要：

采用无机试剂(SnCl4.5H2O)为原料,用溶胶-凝胶 (Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜的电阻随掺杂和温度 的变化关系,并且用XRD对SnO2薄膜进行分析.结果表明,掺杂和热处理温度对薄膜晶 粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度.

关键词：SnO2 薄膜、Sol-Gel 工艺、XRD 分析、灵敏度

所属期刊栏目：18

分类号：TH832.1

资助基金：教育部春晖计划项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19