负衬底偏压增强金刚石核化的机制研究

摘要：

利用扫描电子显微镜研究了热灯丝CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程,给出了实验结果.着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制.

关键词：热灯丝CVD、负衬底偏压、金刚石核化

所属期刊栏目：18

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：中国科学院资助项目19904016

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15