10.3969/j.issn.1002-7378.2010.04.042
MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述
介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望.MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展,建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究.
微机电系统、微电子技术、生物芯片、传感器
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TN409;TP212.3(微电子学、集成电路(IC))
广西师范学院教师前期基础研究基金项目桂师院科字20103号;广西教育厅项目201010LX291
2011-03-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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