10.3969/j.issn.1673-4971.2014.02.004
MAIP镀TiN薄膜结构形貌的研究
本文用多弧离子镀膜(MAIP)技术在高速钢基片表面镀TiN后,用XRD和SEM对膜层组织结构、形貌进行了分析.结果显示,在高速钢基片表面的为TiN薄膜,该TiN膜致密,但在薄膜表面有少量白色大颗粒和黑点.能谱分析显示,白亮的大颗粒成分与普通膜面几乎相同,大黑点是直通基体的针孔,小黑点是盲孔.结论:这些大颗粒降低了薄膜表面粗糙度,对薄膜的耐磨性产生不利影响,而且针孔的存在,对膜层的耐蚀性有不利影响.
多孤离子镀、TiN薄膜、组织结构、形貌
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TG174.444(金属学与热处理)
2014-06-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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