高能束在气相沉积超硬薄膜材料中的应用

摘要：

在新型薄膜材料的制备中,利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源,辅助和诱导气相反应制备薄膜材料,克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足,显著地提高了薄膜的沉积效果.

关键词：高能束、气相沉积、薄膜

所属期刊栏目：27

分类号：TB43;TG174.444(工业通用技术与设备)

资助基金：江苏省教育厅自然科学基金04KJD430011

在线出版日期：2006-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9