热化学和等离子辅助预处理与硬质PVD涂层技术的结合

摘要：

@@ 1前景和关键领域
热化学预处理和物理气相沉积已经成为现代先进制造技术的一部分.热化学预处理本身就是由于汽车工业的大规模发展而产生的.经过几十年发展的物理气相沉积仍被限制在"高新技术",仅应用在半导体工业和光学涂层.由于真空技术的快速发展和对等离子辅助过程的认识日益成熟,物理气相沉积技术,特别是硬质低摩擦系数涂层在机械工程方面得到了越来越多的应用.今天,一定范围的切削工具完全依赖于特殊的PVD涂层,先进的发动机系统也需要在表面涂覆一层具有低摩擦系数的含钨的碳涂层.如今,到了该考虑如果将两种处理技术结合,将会产生什么机会的时机了.

机标关键词：热化学、离子辅助、化学预处理、硬质、物理气相沉积、低摩擦系数、光学涂层、先进制造技术、气相沉积技术、发动机系统、半导体工业、真空技术、应用、切削工具、汽车工业、技术结合、机械工程、规模发展、关键领域、高新技术

所属期刊栏目：25

分类号：O48;TN2

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-28,32