单晶硅基表面碳纳米管薄膜的制备研究

摘要：

以乙炔气为反应气体,采用催化裂解方法,在沉积有铁催化剂膜的单晶硅基体上研究碳纳米管薄膜的制备.研究表明,由于催化剂的作用,在硅基体上能够形成直径为50～100nm的碳纳米管;铁催化剂膜的粒径大小和分散状态对碳钠米管薄膜的厚度、管径和均匀性起着关键作用;氢氟酸水溶液处理的催化剂膜有利于铁催化剂颗粒的分散和均匀化,能形成比较好的碳纳米管薄膜.由电镜分析发现,在单晶硅基体上生长的碳纳米管为顶端生长模式.

关键词：碳纳米管、催化裂解法、单晶硅

所属期刊栏目：24

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47