用三氟化硼气体进行离子渗硼

摘要：

固体渗硼过程中气体成分分析的研究成果,为三氟化硼作为活性气体的离子渗硼研究奠定了基础.通过对比不同碳素钢渗硼层的特性曲线,进行了工艺参数优化,从而获得深度40～50μm,硬度1 500～2 00HV的渗硼层.

关键词：三氟化硼、等离子渗硼

所属期刊栏目：23

分类号：TQ1;TN1

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24