最新高功能CVD成膜技术

摘要：

@@ 随着工业技术的快速发展,对工业材料高功能、高性能化的要求也更高.作为高功能的工艺技术有气相沉积法.气相沉积大体分为两类即化学气相沉积法(CVD法)与物理气相沉积法(PVD法).特别是CVD法,由于是通过在气相中或在基板表面的化学反应形成所要求的材料的薄膜,因此通过控制流入反应室内的化合物气体,可以高纯度地合成多种材料.

机标关键词：高功能、化学气相沉积法、多种材料、工艺技术、工业技术、高性能化、反应形成、控制流、化合物、高纯度、物理、室内、气体、基板、合成、薄膜、表面

所属期刊栏目：23

分类号：TG1(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-16