TFT-LCD玻璃基板生产过程中圆形污渍的影响因素及改善措施

摘要：

液晶玻璃基板的生产过程中会发现各种玻璃表面圆形污渍,现有检查设备不能保证百分之百检出这些圆形污渍,一部分圆形污渍必须经过后续液晶面板制程中一次或多次镀膜后才能被检查设备检出,这样就会在液晶面板制程中造成脱膜、暗线、暗点等缺陷.为保证高品质的液晶玻璃基板,通过分析圆形污渍产生的机理,重点讨论原材料污染、磨边及清洗工艺对圆形污渍的影响,通过对加工过程原材料控制及研磨工艺、清洗工艺改善,摸索出了适合高表面品质要求的液晶玻璃基板生产措施,达到了有效解决圆形污渍的目的.

关键词：TFT-LCD玻璃基板、圆形污渍、影响因素

所属期刊栏目：43

分类号：TP273;TQ171.733;U491

在线出版日期：2022-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37