10.3963/j.issn.1674-6066.2014.03.025
磁控溅射铝镜生产中的关键技术问题及解决办法
磁控溅射铝镜生产线经过合理设计配置了真空溅射镀膜段,自动化程度高,大幅度降低了磁控溅射铝镜生产线的造价,实现了磁控溅射铝镜的低成本、高效率生产,是制镜行业生产设备的转型升级,也进一步实现了大型镀膜设备的国产化。该文针对在真空镀铝过程中经常遇到的问题做了简要阐述,同时针对这些问题给出了相应的修改建议。
镀膜室、跑偏、漆刀、漆膜
TL8;TB3
2014-07-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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