脉冲激光沉积Ge-Ga-S-CdS非晶薄膜

摘要：

采用脉冲激光沉积(PLD)法在载玻片上沉积了Ge-Ga-S-CdS硫系非晶薄膜,利用XRD、分光光度计、扫描电镜、XPS等现代测试手段,研究薄膜的结晶形态、光学性质和成分.结果发现,利用脉冲激光沉积方法获得了可见光透过率为80%、光学质量优良、厚度均匀、没有明显缺陷的Ge-Ga-S-CdS硫系非晶薄膜,XPS光电子能谱结果显示薄膜成分与靶材的成分存在微小的偏差.

关键词：PLD法、Ge-Ga-S-CdS、硫系非晶薄膜

所属期刊栏目：28

分类号：TU5(建筑材料)

在线出版日期：2008-04-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7