一种低损耗射频MEMS器件测试夹具设计研究

摘要：

射频MEMS开关以及以开关为基础的射频MEMS器件是应用于5G通信中的重要组成部分.随着通信技术的发展,多种类射频MEMS器件得到广泛应用,定期对生产批次射频MEMS器件进行筛选和检测成为关键.目前射频MEMS器件性能的快速无损检测,依旧是行业内没有很好解决的难题.以铜制弹片为媒介,针对表面贴装式集成封装射频器件,设计高性能、高精度、快速无损伤测试夹具.通过对测试夹具进行多次仿真和实验,证实测试夹具测试射频器件频率可达2 GHz并且测试夹具本身损耗很低.

关键词：测试夹具;弹片;射频MEMS器件

所属期刊栏目：40

分类号：TN707(基本电子电路)

在线出版日期：2021-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：106-110