TCO薄膜主要性能影响因素研究

摘要：

研究开发透明导电氧化物(TCO)薄膜技术,对提高异质结电池光电转换效率、进一步提升发电量、降低度电成本具有促进作用.分析了异质结电池的结构机理及性能优势,并在特定的实验条件下采用单一变量法通过对比分析研究了氧氩比(O2/Ar2)对IWO薄膜透光率、方块电阻的影响及沉积时间对IWO薄膜电导率的影响.通过分析实验结果得到如下结论,随着氧氩比增加,薄膜的平均透光率降低;随着氧氩比增加,方块电阻先升后降;随着沉积时间增加,薄膜的电导率越来越高,沉积时间超过30min后薄膜电导率基本不变.

关键词：异质结电池、TCO薄膜、性能影响

所属期刊栏目：40

分类号：TM615(发电、发电厂)

在线出版日期：2021-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：100-103