VDMOS功率循环试验中结温在线监测方法研究

摘要：

提出一种VDMOS器件功率循环试验中的结温在线监测方法,通过研究功率循环试验中的在线测温原理,提出利用功率循环试验中VDMOS器件在导通态下的漏源电流、漏源电压与温度的对应关系以及器件在关断态下的PN结结电压与温度的对应关系进行结温在线测量.设计了结温在线监测系统,试验结果表明,该系统可实现在规定结温变化范围内对VD-MOS器件进行功率循环试验并实时在线测量和控制VDMOS器件结温,可在功率循环试验过程中的器件导通态温度上升阶段和关断态温度下降阶段分别对器件结温进行实时监测和控制.

关键词：功率循环、导通态、关断态、结温在线测量

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.94(半导体技术)

资助基金：装备发展部共性项目1807WK0011

在线出版日期：2020-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：73-77