硅片方块电阻计量标准装置研制

摘要：

对测量方块电阻的双配置四探针法进行了研究,从理论上分析了该方法的优点:测量结果与探针间距无关,可使用不等间距探针头,具有自动修正边界影响的功能,不必寻找修正因子,论述了RS大小样片及边界附近的测试原理,给出了RS的计算公式.研制了基于双配置四探针法的硅片方块电阻计量标准装置,论述了该装置的软硬件设计,为校准硅片方块电阻标准样片提供了技术手段.解决了硅片方块电阻参数的量值传递问题.

关键词：方块电阻、双配置四探针法、计量标准装置

所属期刊栏目：35

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2016-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：44-49