扫描电子显微镜图像荷电现象的研究

摘要：

扫描电子显微镜在观察材料样品表面形貌领域应用广泛。在日常的实验过程中经常会遇到导电性能不佳的样品，这会产生不同程度的荷电现象，对图像质量以及样品的形貌表征都产生了极大的影响，时刻困扰着操作人员。为了克服这一问题，通过调整仪器参数设置、选择探测器以及辅助导电等手段，经过实验比对、理论验证，提出了7种方法，这些方法可以减轻或消除荷电效应对图像质量的影响，适用于当今主流的场发射扫描电子显微镜，应用广泛、适用性强。

关键词：扫描电子显微镜、荷电效应、导电性能、基尔霍夫定律

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：62-66,78