在线自动光学外观检测系统的设计

摘要：

国内半导体制造行业经过几十年的产品生产及技术升级，其产品已向微型化发展。与此同时，外观检测还保持着人工方式，这也受到了下游客户的越来越多的质疑及挑战。基于此，自动光学检测系统的引入就被提到了紧要的地位。该系统采用嵌入式微控器加彩色线阵 CCD 捕获产品原始图像，然后通过滤波、边缘检测等实现被测产品的在线检测、分析判断并通过巧妙的机构来实现不良品的自动剔除。经过实际生产检验，该系统图像捕获、处理及分析均准确可靠，并实现了10 pcs/s的产品图检测及剔除。

关键词：控制系统、DSP、边缘检测

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2015-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65